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pecvd石墨舟工作原理_百度文库. 石墨舟在PECVD中起着关键的作用。 因为石墨具有良好的导电和导热性能，当在两个相邻的石墨舟片间通入交流电压时，这两个相邻的舟片就形成
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(完整版)石墨电极_百度文库. 品种根据所用原料的不同和成品物理化学指标的区别，石墨电极分为普通功率石墨电极 (RP级)，高功率石墨电极 (HP级)和超高功率石墨电极 (UHP级)3
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推舟地方认定 人工手动开启机组一进一出舟, 保障电极片和舟孔对位最准确、用到好的。 7． 控温区认定 认定该管装置控温区合理。 一般的产的的石墨舟没用到 100 次~120 主次洗
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摘要：. 本实用新型属于太阳能电池片技术领域,公开了一种管式PECVD电极杆,其包括电极杆本体及电极头,电极杆本体用于连接射频电源,电极头的一端弹性连接于电极杆本体,电极头
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2022年1月4日 关注. 石墨舟工作原理:：石墨模具选用人造石墨经机械加工而成，存有相应的电极片，电极片作为电源的正负极，从而产生电场，将气体电离成等离子体，形成新的膜
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本文基于目前晶硅SE-PERC电池生产工艺,针对管式PECVD石墨舟印EL发黑产生的原因验证分析及提出解决措施.研究结果表明,石墨舟清洗机,烘干机杂质尤其是金属杂质污染石墨
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本词条由 “科普中国”科学百科词条编写与应用工作项目 审核 。. 石墨电极是指以石油焦、沥青焦为骨料，煤沥青为黏结剂，经过原料煅烧、破碎磨粉、配料、混捏、成型、焙烧、浸渍
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石墨舟是正负间隔连接的，可以等效看成是多个电容器的并联，那么舟片正对面积和舟片间距的改变就会导致电容器容抗的变化，导致镀膜的场强变化。. 建议你增加压力，一般的效果是中间镀膜异常区域的面积会越来越小，然后适当改变气流比例 (注意是气流 ...
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工业硅石墨电极是一种用于电弧炉的关键部件，用于导电和传递电能进入熔融的金属材料中进行电解或熔炼反应。. 下面是工业硅石墨电极的工作原理：. 1.电导性：工业硅石墨电极具有良好的导电性能，能够将电能从电源传递到熔融金属中。. 它的高导电性来源 ...
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高压石墨电极原理：高压石墨电极是指在大气压力下无法生存、需要在高压条件下才能稳定存在的石墨结构。. 在电池领域中，高压石墨电极是指石墨在电池充放电过程中所处的高压状态下的电化学行为。. 在充电状态下，锂离子会从正极的锂离子嵌入化合物中 ...
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pecvd石墨舟工作原理. 石墨舟在PECVD中起着关键的作用。. 因为石墨具有良好的导电和导热性能，当在两个相邻的石墨舟片间通入交流电压时，这两个相邻的舟片就形成了正负极。. 当在腔室中有一定的气压和气体时，在两个石墨舟片之间就会发生辉光放电。. 辉光 ...
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PECVD工艺原理及操作 ppt课件. 18. SLS moving to upper position SLS移到高位. 1、准备、领片：严格佩戴劳保用品，戴好活性炭口罩和PVC手套；检查真 空吸盘是否完好，能否正常使用；检查每个石墨舟是否有损坏，能否正常 使用；把装有清洗干净硅片的硅片篮放在指定
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PECVD石墨舟对镀膜的影响-huafei920使用管式PECVD镀膜，设备原配的石墨舟载片168片，为了提高产能，近期试用了载片196片的石墨舟，但在试用及调试过程中出现了很多异常如图所示：(点击图片可以查看清晰大图)snokehy电极板间距的变化是比较关键的
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2020年6月19日 ( 54 )实用新型名称 一种用于管式PECVD设备的石墨舟电极对接 装置 ( 57 )摘要 本实用新型公开了一种用于管式PECVD设备 的石墨舟电极对接装置，包括：长直状的电极杆， 其由刚性导电 材料制成 ；以 及分别连接于所述电 极杆两端的接电固定组件及 ...
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光伏行业干法洗石墨舟原理-3.物理和化学反应：利用等离子体的活性组分，如离子和自由活性基团，进行氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理和化学反应。. 这些反应能够改变石墨舟表面的性质，如清洁、改性、刻蚀等。. 4.气体回收：经过反应后的气体可以 ...
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PECVD的原理. 工作原理：Centrotherm PECVD 系统是一组 利用平行板镀膜舟和高频等离子激发器的系列 发生器。. 在低压和升温的情况下，等离子发生 器直接装在镀膜板中间发生反应。. 所用的活性 气体为硅烷SiH4和氨NH3。. 这些气体作用于存 储在硅片上的氮化硅 ...
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光学电极在光学传感器中起着重要的作用，实现对光信号的检测和转化。 源自文库4. 光学电极作为一种将光信号和电信号相互转换的关键器件，具有广泛的应用前景。从光纤通信到光电传感器，再到光伏发电和光学传感器，光学电极在不同领域中发挥着重要作用。
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2012年11月22日 PECVD石墨舟检验标准-标 题版本上海弘竣实业有限公司文件名：石墨舟检验标准HJ-A/012 日期 2012.11.22拟 制 批 准ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ编 号1.0、目的： 1.1 为确保上海弘竣实业有限公司生产的石墨舟质量符合客户要求， 特制定此检验标准。
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石墨电极的原料及制造工艺. ②加入煤沥青后使干料和沥青混合均匀,液态沥青均匀涂布和浸润颗粒表面,形成一层沥青粘结层,把所有物料互相粘结在一起,进而形成均质的可塑性糊料,有利于成型；. ③部分煤沥青浸透到炭质物料内部空隙,进一步提高了糊料的密度和 ...
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石墨电极原理-石墨 电极的原理还涉及到电化学反应的过程。在电解池中，石墨电极通常被用作阳极或阴极。当电流通过电解池时，阳极上发生氧化反应，阴极上发生还原反应。以阳极为例，当阳极为石墨电极时，石墨电极上的碳原子会失去电子，转化为 ...
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光伏电池的技术员试题1. 5.氮化硅膜的作用主要是和. 1、简述PECVD的原理及目的. 2、简述更换石英管流程及注意事项. 3、为什么后清洗出来的片子在PECVD前搁置时间过长需要进行酸洗？. 156电池片的功率为4W，则其转换效率是多少？. 管式PECVD镀膜过程中发生高频 ...
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其原理主要包括以下几个方面：. (1)溶解污垢：通过在清洗过程中使用溶解剂，将石墨舟表面的污垢溶解或软化，以便更好地去除。. (2)摩擦力：通过机械刷或喷枪等工具，运用摩擦力对石墨舟表面进行刷洗或冲洗，以去除粘附在表面的污垢。. (3)冲击力：利用 ...
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2011年11月2日 石墨舟电极结构. （57）摘要. 本实用新型涉及一种石墨舟电极结构，包括设置在石墨舟上的电极块，以及电极叉，电极叉一端与电极块连接，其另一端为延伸出电极块外的自由端，该自由端与外部设备电极导电连接。. 本实用新型改变石墨舟电极接触方式，通过 ...
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石墨舟印EL发黑异常原因及解决措施-石墨舟印EL 发黑异常原因及解决措施 首页 文档 视频 音频 文集 文档 公司财报 ... 薄板边部折印缺陷产生原因及解决措施3.机床类铸件石墨粗大缺陷的产生原因及解决措施4.石墨电极一次焙烧品空头原因探讨及解决措施5. ...
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石墨舟清洗、烘舟工艺说明书-三、饱和后异常现象： 1、陶瓷杆灼伤痕迹2、局部外层灼伤痕迹以上两种异常灼伤现象都是由饱和工艺温度过高引起，建议将其局部温度减少30~40度，由于饱和工艺时间周期较长，如果温度设定太高的话，石墨舟就会被灼 伤。
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2、石墨舟与电极杆接触不好：应定期检查石墨舟与电极杆接触的位置，检查电极头是否灼伤、变形，石墨舟电极孔也应定期用干燥的无尘布擦抹。 3、石墨舟损坏：检查石墨舟陶瓷杆、石墨杆螺母是否松动，检查石墨舟舟片是否损坏。
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石墨基本知识(共47张PPT)-第9页，共47页。石墨是什么石墨在常温下使用时能经受住温度的剧烈变化而不致破坏，温度突变时，石墨的体积变化不大，不会产生裂纹。石墨具有良好的中子减速剂用于原子反应堆中，铀一石墨反应堆是应用较多的一种原子反应堆。
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